¿Â¼¼¹ÌÄÁ´öÅÍ´Â ¹Ì±¹ ´º¿åÁÖ À̽ºÆ® ÇǽÃų¿¡ À§Ä¡ÇÑ ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®ÀÇ 300mm ÆÕÀ» ÀμöÇÏ´Â µ¥ ÃÖÁ¾ ÇÕÀÇÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
Àμö ±Ý¾×Àº ÃÑ 4¾ï 3õ¸¸ ´Þ·¯·Î, ÀÌ Áß 1¾ï ´Þ·¯´Â ÃÖÁ¾ °è¾à ü°á ½Ã ÁöºÒµÆÀ¸¸ç, ³ª¸ÓÁö 3¾ï 3õ¸¸ ´Þ·¯´Â 2022³â ¸»¿¡ Áö±ÞµÈ´Ù. ÀÌÈÄ ¿Â¼¼¹ÌÄÁ´öÅÍ´Â ÇØ´ç ÆÕÀ» Àü¸éÀûÀ¸·Î ¿î¿µÇÏ°í, ÇöÀå Á÷¿øµé ¶ÇÇÑ ¿Â¼¼¹ÌÄÁ´öÅÍ ¼Ò¼ÓÀ¸·Î ÀüȯµÈ´Ù.
À̹ø Çù¾àÀ» ÅëÇØ ¿Â¼¼¹ÌÄÁ´öÅÍ´Â ¾ÕÀ¸·Î ¼ö ³â µ¿¾È À̽ºÆ® ÇǽÃų °øÀå¿¡¼ 300mm »ý»ê·®À» ´Ã¸± ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù.
¶ÇÇÑ ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®´Â ÀÚ»çÀÇ ¼ö ¸¹Àº ±â¼úÀ» ´Ù¸¥ Áö¿ª¿¡ À§Ä¡ÇÑ ¼¼ °³ÀÇ 300mm ÆÕÀ¸·Î ÀÌÀüÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®´Â 2022³â ¸»±îÁö ¿Â¼¼¹ÌÄÁ´öÅÍ¿ë 300mm ¿þÀÌÆÛ¸¦ »ý»êÇÒ ¿¹Á¤À¸·Î, ÃÖÃÊ »ý»êÀº 2020³âºÎÅÍ ½ÃÀ۵ȴÙ.
¾ç»çÀÇ À̹ø Çù¾à¿¡´Â ±â¼ú ÀÌÀü°ú °³¹ß ¹× ±â¼ú ¶óÀ̼±½º °è¾àµµ Æ÷ÇԵȴÙ. º» Çù¾àÀ¸·Î ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ Àü¹®¼º°ú °æÇèÀ» º¸À¯ÇÑ 300mm Á¦Á¶ ¹× °³¹ßÆÀÀÌ ±¸¼ºµÅ ¿Â¼¼¹ÌÄÁ´öÅÍ ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤À» 200mm¿¡¼ 300mm·Î ÀüȯÇÏ°Ô µÈ´Ù.
¿Â¼¼¹ÌÄÁ´öÅÍ´Â 45nm ¹× 65nm ±â¼ú ³ëµå¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ Ã·´Ü CMOS ¿ª·®µµ Áï½Ã È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾î ¹Ì·¡ ±â¼ú°³¹ßÀÇ Åä´ë¸¦ ¸¶·ÃÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. |