사이버옵틱스 코퍼레이션이 2020년 2월 5~7일 서울 코엑스에서 열리는 세미콘 코리아에 부스를 열고 반도체 장비 세트업과 진단을 위한 웨이퍼센스 오토 레지스턴스 센서와 사이버스펙트럼 소프트웨어를 전시한다.

사이버옵틱스는 고정밀 3D 감지 기술 솔루션을 개발, 제조하는 세계 선도 기업이다.

‘사이버스펙트럼’ 소프트웨어와 함께 제공되는 300mm의 ARS는 반도체 전기화학 증착 애플리케이션에서 도금 셀 접촉의 저항을 실시간 측정할 수 있게 해준다.

ARS는 도금 핀에 영향을 미치는 잔류물을 감지하는 켈빈 센싱법을 사용해 50개의 주변 개별패드로 저항 측정을 신속하게 식별하고 모니터링한다.

반도체 팹의 프로세스 및 장비 엔지니어는 일정 시간 후 측정된 평균 저항을 정량 분석해 장비 보수가 필요한 시기를 예측하고 장비 유지보수 주기를 단축하며, 웨이퍼와 같은 4선 저항 센서 및 사이버스펙트럼 소프트웨어의 객관적이고 반복 가능한 데이터로 셀 간 균일성을 향상시킬 수 있다.

수보드 쿨카니 사이버옵틱스 사장 겸 최고경영자는 “우리는 전 세계 반도체 팹과 장비 주문자상표부착생산 업체에서 사용되는 독자적인 웨이퍼센스 장비 라인을 확대해 수율과 장비 가동 시간을 크게 개선했다”고 밝혔다. 그는 “새로 출시한 ARS는 무선으로 반도체 팹 내 전기화학 증착 애플리케이션에 대한 실시간 저항 측정을 감지, 모니터링할 수 있다”며 “사이버옵틱스의 다른 웨이퍼센스 장비와 마찬가지로 ARS는 시간과 비용을 절감하고 프로세스를 개선할 수 있다”고 설명했다.