ÀÎÇǴϾð Å×Å©³î·ÎÁö½º°¡ MEMS ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆù ½ÃÀåÀÇ ¸®´õ·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇß´Ù.
ÀÎÇǴϾðÀº MEMS Ĩ ÆǸŷ® ±âÁØ ½ÃÀå Á¡À¯À² 43.5%·Î 1À§¸¦ Â÷ÁöÇϸé¼, 2À§¿Í °ÅÀÇ 4%, 3À§¿Í´Â 37% ÀÌ»ó °ÝÂ÷¸¦ ¹ú·È´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¼º°øÀº ÀÎÇǴϾðÀÌ MEMS ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆù ¼³°è¿Í ´ë·® »ý»ê¿¡ ´ëÇÑ ¿À·£ °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¶Ù¾î³ ¼ÒºñÀÚ °æÇèÀ» Á¦°øÇÑ ´öºÐÀÌ´Ù.
ÀÎÇǴϾðÀº ´õ¿í ¶Ù¾î³ ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÏ´Â Â÷¼¼´ë ¾Æ³¯·Î±× MEMS ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆù XENSIV IM73A135¸¦ Ãâ½ÃÇÑ´Ù.
¸¶ÀÌÅ©·ÎÆù¿¡ ÀÖ¾î¼ ¼³°èÀÚ´Â ³ôÀº ½ÅÈ£´ë ÀâÀ½ºñ, ¼ÒÇü ÆÐÅ°Áö, ³ôÀº À½Çâ °úºÎÇÏÁ¡, ³·Àº Àü·Â ¼Ò¸ð, MEMS ¶Ç´Â ECM ŸÀÔ°ú °°Àº ¿©·¯ ºÎºÐµéÀ» °í·ÁÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
±âÁ¸ÀÇ ³ôÀº ¼º´ÉÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆùÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡¼´Â MEMS ´ë½Å ¿©ÀüÈ÷ ECMÀ» »ç¿ëÇØ ¿ÔÁö¸¸, IM73A135´Â ±×¿¡ ´ëÇÑ ´ë¾ÈÀÌ µÉ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ ½Å±Ô MEMS ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆùÀº 73dB SNR, 135dBSPLÀÇ ³ôÀº AOP¹× 4 x 3 x 1.2mm3ÀÇ ÀÛÀº ÆÐÅ°Áö »çÀÌÁî·Î ¸Å¿ì ³ôÀº µ¿Àû ¹üÀ§¸¦ ±¸ÇöÇÑ´Ù.
¶ÇÇÑ ¼¼¹ÐÇÑ ÁÖÆļö °î¼± °ü¸®·Î ¿Àµð¿À ½ÅÈ£ 󸮿¡ °¡Àå È¿°úÀûÀ̸ç, 170μAÀÇ ¾÷°è ÃÖÀú Àü·Â ¼Ò¸ð¸¦ º¸¿©ÁØ´Ù. µû¶ó¼ IM73A135´Â ¼³°èÀÚ°¡ MEMS ±â¼ú¿¡ ³»ÀçµÈ ÀåÁ¡À» ÀÌ¿ëÇÏ¸é¼ ECM¿¡ ÇÑÁ¤µÇ¾ú´ø ³ôÀº ¿Àµð¿À ¼º´É ¼öÁØ¿¡ µµ´ÞÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÑ´Ù. |