Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® Àü¹® ±â¾÷ ½ºÆÒ¼Ç
Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® Àü¹® ±â¾÷ ½ºÆÒ¼Ç(´ëÇ¥ : ¹öÆ®¶õ Ä·º¸¿ì)Àº 300mm ¿þÀÌÆÛ¿¡¼ 45nm °øÁ¤±â¼úÀÇ ¼Ò³ë½º(SONOS)
±¸Á¶ÀÇ ¼¿À» °¡Áø Â÷¼¼´ë ´ë¿ë·® ¹Ì·¯ºñÆ® ¸Þ¸ð¸® ±â¼úÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù.
¹Ì·¯ºñÆ® ±â¼úÀÌ Àû¿ëµÈ Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸®´Â ÇöÀç±îÁö 20¾ï ´Þ·¯ ÀÌ»óÀÇ Á¦Ç°À» °ø±ÞÇßÀ¸¸ç ½ºÆÒ¼Ç ÀÚüÀÇ Àüü ³ë¾î Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® »ý»ê·®ÀÇ ¾à70%¸¦
Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖÀ» Á¤µµ·Î °ËÁõµÈ ±â¼úÀÌ´Ù.
Áö±Ý±îÁöÀÇ Ç÷ÎÆà °ÔÀÌÆ® ¹æ½ÄÀÇ ¸Þ¸ð¸®´Â »êȸ·(Oxide)¿¡ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀúÀåÇÏÁö¸¸, ¼Ò³ë½º ¹æ½Ä¿¡¼´Â ºÎµµÃ¼ÀÎ
Áúȸ·(Nitride)¿¡ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀúÀåÇÏ°Ô µÇ¾î ÀúÀåµÈ µ¥ÀÌÅÍÀÇ ¾ÈÁ¤¼ºÀÌ ´õ¿í ³ô¾ÆÁö°í, ¼¿ »çÀÌÁ ´õ¿í Ãà¼ÒÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë ±â¼ú·Î
Àνĵǰí ÀÖ´Ù.
½ºÆÒ¼ÇÀÇ ¿¬±¸°³¹ß ´ã´ç ¼ö¼®ºÎ»çÀåÀÎ ·ç Æĸ±·Î ¹Ú»ç´Â "½ºÆÒ¼ÇÀº Charge Trapping Storage ±â¼úÀÇ ´ë·® »ý»ê¿¡ ¼º°øÇÑ À¯ÀÏÇÑ
Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ±â¾÷"À̶ó¸ç "½ºÆÒ¼Ç °íÀ¯ÀÇ Çõ½ÅÀûÀÎ ¹Ì·¯ºñÆ® ±â¼ú°ú, 300mm ¿þÀÌÆÛ »ý»ê´É·Â È®º¸¸¦ ÅëÇØ Á¦Ç° ·Îµå¸ÊÀ» ´õ¿í È®ÀåÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô
µÇ¾úÀ¸¸ç, ¹Ì·¯ºñÆ® ±â¼ú ¹ßÀü¿¡ ´õ¿í ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù"¶ó°í ¹àÇû´Ù.
¹®ÀÇ : ½ºÆæ¼Ç www.spansion.com
¡¡
|